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            卧式真空炉
            所属系列:半导体材料专用设备
            该设备主要用于蓝宝石衬底材料的退火,也适用于各种新材料的退火;具有控温精度高、产品一致性好、运行平稳、可靠性高等特点,是蓝宝石衬底材料及各种新材料的必备工艺设备

            技术参数

            1、设计温度:1800℃
            2、最大炉膛尺寸:2000mm×600mm×400mm
            3、供电电源:AC380V±10%,3相4线, 50Hz
            4、加热元件:硅碳棒或硅钼棒
            5、适用烧结气氛:氮气、氩气、一氧化碳、氢气、氧气

            产品展示

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